![美國(guó)開發(fā)出1nm印刷設(shè)備](http://www.opensourcehelpwanted.com/file/upload/201705/15/114409281.jpg)
紙引未來(lái)訊晶圓代工大廠包括臺(tái)積電、英特爾、三星等公司在2017年陸續(xù)將制程進(jìn)入10奈米階段,而且準(zhǔn)備在2018年進(jìn)入7奈米制程試產(chǎn),甚至2020年還將要推出5奈米制程技術(shù)。因此,隨著制程技術(shù)的提升,半導(dǎo)體制程也越來(lái)越逼近極限,制造難度也越來(lái)越大。就以5奈米之后的制程來(lái)說(shuō),到目前為止都沒有明確的結(jié)論。對(duì)此,美國(guó)布魯克海文國(guó)家實(shí)驗(yàn)室(Brookhaven National Laboratory,簡(jiǎn)稱BNL)研究人員日前宣布,開發(fā)出可以達(dá)成1奈米制程的相關(guān)技術(shù)與設(shè)備。
根據(jù)外電報(bào)導(dǎo),美國(guó)能源部旗下的布魯克海文國(guó)家實(shí)驗(yàn)室研究人員,日前宣布成功采用電子束印刷技術(shù),成功制造了尺寸只有1奈米的印刷設(shè)備。據(jù)了解,這個(gè)實(shí)驗(yàn)室的研究人員采用電子顯微鏡,制造出比普通電子束印刷(EBL)技術(shù)能做出的更小尺寸。這使電子敏感性材料在聚焦電子束的作用下,尺寸得以大大縮小,達(dá)到可操縱單個(gè)原子的程度。而這項(xiàng)技術(shù)與設(shè)備的誕生,則可極大的改變材料特性,從導(dǎo)電變成光傳輸,或這兩種狀態(tài)下交互執(zhí)行。
就目前發(fā)表的內(nèi)容觀察,1奈米印刷使用的是掃描投射電子顯微鏡(STEM),隔開11奈米,這樣一來(lái)每平方公厘就能實(shí)現(xiàn)1兆個(gè)特征點(diǎn)(features)的密度。再透過(guò)偏差修正STEM在5奈米半柵極在氫氧硅酸鹽類抗蝕劑下,實(shí)現(xiàn)2奈米的分辨率。
雖然,這也不是科學(xué)家第一次達(dá)到1奈米級(jí)別的技術(shù),2016年美國(guó)能源部下屬的另一個(gè)國(guó)家實(shí)驗(yàn)室也宣布發(fā)展出1奈米制程技術(shù)。這部分使用的是奈米碳管和二硫化鉬等新材料。不過(guò),不管是哪一邊開發(fā)出的新技術(shù)與設(shè)備,就目前觀察,這項(xiàng)技術(shù)都不會(huì)很快量產(chǎn)。因?yàn)槟蚊滋脊芫w管跟PMMA、電子束光刻一樣,跟目前的半導(dǎo)體制程技術(shù)有明顯差異。因此,要讓廠商一下子全部淘汰現(xiàn)有設(shè)備,這還需要一段時(shí)間布局。
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