供應(yīng)23制作平行曝光機(jī)的原理是什么|西鄉(xiāng)高精度平行曝光機(jī)廠家

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平行曝光機(jī)第一品牌【大川光電，黃先生，13682302959】深圳市大川光電設(shè)備有限公司于2010年研發(fā)制造出第一臺UV-LED平行曝光機(jī)，經(jīng)過實際測試曝光機(jī)均勻度，光線平行度、曝光能量等技術(shù)參數(shù)均優(yōu)于傳統(tǒng)貢燈光源平行曝光機(jī)。
　　
　　平行曝光機(jī)能夠統(tǒng)成功地應(yīng)用于半導(dǎo)體制造，它的光源是300kg，使用性強(qiáng)，小編來講講平行曝光機(jī)的特點：
　　機(jī)房要能承受500kg/m3以上重量。
　　壓縮空氣(C.D.A)：0.5Mpa，400nl/min
　　熱排氣：15m3/min
　　裝置外觀：本體：2000×1055×1820mm
　　真空：-0.08Mpa，60nl/min
　　制作平行曝光機(jī)的原理：在計算機(jī)的控制下，利用聚焦電子束對有機(jī)聚合物(通常稱為電子抗蝕劑或光刻膠)進(jìn)行曝光，受電子束輻照后的光刻膠，其物理化學(xué)性質(zhì)發(fā)生變化，在一定的溶劑中形成良溶或非良溶區(qū)域，從而在抗蝕劑上形成精細(xì)圖形。它可以適合于制造高密度線路板;冷光源(無紅外線，有利于底片保護(hù));高抽真空度，適合于制造細(xì)線條;4個角抽真空非常均勻;機(jī)內(nèi)集成了‘故障診斷系統(tǒng)’;曝光室內(nèi)用經(jīng)100級過濾的潔凈空氣產(chǎn)生正壓，有效防止灰塵進(jìn)入;獨立的燈源空氣冷去系統(tǒng)。
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公司名稱：深圳市大川光電設(shè)備有限公司
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